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高精度多自由度运动控制系统

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这款四轴调平旋转台是一款高精度运动平台,整体性能优异,适用于对定位精度、运动稳定性要求严苛的精密加工、光学检测、科研实验等场景。

产品特点

一、多轴集成,功能全面
集成 Z 轴升降、θx/θy 轴调平、θz 轴旋转四大运动轴,一台设备即可实现升降、多维角度微调、360° 旋转复合运动,无需多设备组合,大幅简化设备布局,适配复杂工况需求。
二、超高精度,定位精准
采用德国 ATTOCUBE 三通道激光干涉仪、准直仪完成精度校验,在大理石光学平台、洁净室的标准检测环境下,各项精度指标远超行业常规水平,重复定位精度达微米 / 角秒级,确保运动过程中定位无偏差、重复运动一致性强。
三、性能稳定,负载可靠
设计最大负载达 3kg,实测负载能力与指标完全匹配,承载稳定无偏移;运动速度与步长参数适配精密作业需求,兼顾运动效率与微调精度,可满足不同作业场景下的速度与精度平衡要求。


产品参数

指标\规格

Z轴

θxθy轴

θz轴

有效行程

10mm

±5°

360°

重复定位精度

±1.5um

±0.01°即36sec

±0.01°,即36sec

最小步长

1um

0.005°

0.005°

最大速度

15mm/s

30deg/sec

4rps

最大负载

3KG