多角度观察系统:在器件的水平和垂直视野设有观察系统,便于多角度调整和手动对准操作。
手动耦合测试系统MCT - CA - 100C
参数项
参数内容
XYZ 行程(手动)
X: ±6.5mm;Y: ±6.5mm;Z: ±6.5m(XYZ 可选大行程)
分辨率
0.5μm / 格
θX、θY、θZ(手动)
θX±5°;θY±5°;θZ±8°
角度分辨率
0.015°/ 格
定制化说明
可根据用户不同需求定制化设计结构