气浮摆杆隔振系列光学平台参数:
固有频率:垂直方向小于 1.0 - 1.5Hz,垂直共振低至 1Hz;水平方向小于 1.0 - 1.5Hz,与实际负载相关。
振幅:小于 0.002mm
调节方式:自动定心。
减振效率
垂直:5Hz 时为 85 - 90%;10Hz 时为 91 - 96%。
水平:5Hz 时为 87 - 92%;10Hz 时为 92 - 97%。
工作复位精度:±0.1mm。
隔振方式:三线摆摆杆、混合腔结构。
|
型号 |
尺寸(mm) |
支腿外径(φ) |
支撑数量 |
调节高度 |
|
AIR - X-1208 |
1200×800 |
300 |
4 支撑 |
±10mm |
|
AIR - X-1210 |
1200×1000 |
300 |
4 支撑 |
±10mm |
|
AIR - X-1510 |
1500×1000 |
300 |
4 支撑 |
±10mm |
|
AIR - X-1512 |
1500×1200 |
300 |
4 支撑 |
±10mm |
|
AIR - X-1812 |
1800×1200 |
300 |
4 支撑 |
±10mm |
|
AIR - X-2010 |
2000×1000 |
300 |
4 支撑 |
±10mm |
|
AIR - X-2012 |
2000×1200 |
300 |
4 支撑 |
±10mm |
|
AIR - X-2015 |
2000×1500 |
300 |
4 支撑 |
±10mm |
|
AIR - X-2412 |
2400×1200 |
300 |
4 支撑 |
±10mm |
|
AIR - X-2415 |
2400×1500 |
300 |
4 支撑 |
±10mm |
|
AIR - X-3015 |
3000×1500 |
300 |
6 支撑 |
±10mm |