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台 体 规 格 |
样品台尺寸 | 6英寸/8英寸/12英寸 |
| 水平旋转 |
可360度旋转，可微调15度，精度0.1度，带角度锁死装置
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| X-Y移动行程 | 200mm | |
| X-Y移动精度 | 5微米 | |
| 样品固定 | 真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环 | |
| 针座平台 |
U型针座平台，最多可放置10个探针座
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| 平台升降 | 可快速升降12mm | |
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光 学 系 统 |
显微镜类型 | 单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜 |
| 放大倍率 | 6X-200X/20X-4000X | |
| 移动行程 | 水平360度旋转，Z轴行程50.8mm | |
| 光源 | 外置LED环形光源/同轴光源 | |
| CCD | 200万像素/800万像素/4K像素 | |
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探 针 座 |
X-Y-Z移动行程 | 2mm*12mm*12mm |
| 移动精度 | 10微米/2微米/0.7微米/0.5微米 | |
| 吸附方式 | 磁力吸附/真空吸附 | |
| 线缆 | 同轴线/三轴线/射频线 | |
| 漏电精度 | 10pA/100fA/10fA | |
| 固定探针 | 弹簧固定/管状固定 | |
| 接头类型 | BNC三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子 | |
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