M‑KX530 窄线宽激光器标准具耦合系统，适用于外腔窄线宽激光器与 F‑P 标准具耦合封装， 集成纳米级六轴对准、视觉监测、温控、UV 固化一体化方案。支持自动搜光耦合、在线固化，有效 改善窄线宽光源装配工艺痛点，适配 COC、BOX 封装器件，满足研发及小批量量产需求。
1、采用模块化整机架构
2、集成 UV 紫外固化、PIV 测试及精密温控单元，实现搜光耦合‑在线固化‑性能检测一体化作业；内置光电耦合扫描算法、自动搜光、自动焦点补偿功能，工艺流程可自定义编辑。
3、兼容 COC、BOX 多种夹具快拆切换，适配透镜、准直器等多种器件装配，整机机架具备优良隔振性能。
4、支持个性化配置定制。
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模块名称 |
参数值 |
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耦合专用电动六轴调整台 |
直线轴：X 轴 50mm，Y 轴 10mm，Z 轴 50mm；分辨率 0.05μm，重复定位精度 ±0.2μm |
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角度轴：θX±6°，分辨率 0.0025°；θY±8°，分辨率 0.003°；θZ±8°，分辨率 0.0032° |
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标准具夹持模块 |
程控上位机控制；夹持范围：0.5×0.5mm～3×3mm |
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准直器对准模块） |
X/Y/Z 行程 ±6.5mm，分辨率优于 1μm；THY 行程 ±20°，THZ 行程 ±15°，最小读取量 0.1° |
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载物台 |
XY 轴行程 ±6.5mm，Z 轴行程 ±5mm；调节精度 10μm / 刻度；THZ 轴 360° 连续旋转可调 |
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悬臂探针调节模块 |
XYZ 行程 ±6.5mm，移动刻度 10μm，分辨率 2μm；磁性吸附底座，探针高度自由可调 |
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器件模块载物台 |
快拆结构，标配 COC、BOX 快装夹具，支持自由切换 |
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多视角视觉观察组件 |
X 轴滑轨行程 400mm；XYZ 调节行程 ±20mm；2000 万像素 CCD 相机；支持俯视、正交、45° 多角度观察；工作距离 165mm，支持图像测量画线 |
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工控机 |
I7 6700 CPU、16G 内存、256G SSD；双千兆网口，DVI/VGA/HDMI 输出；1 套 |
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UV 组件及夹具 |
2 组 365nm 点光源，光照强度可调；2 支 UV 灯头，支持 360° 角度调节定位 |
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PIV 测试仪及温控模块 |
温控调节范围：10℃～50℃，温控精度 ±0.05℃ |
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多轴耦合运动控制器 |
集成光电耦合扫描算法；4 路模拟量采集，刷新＞20kHz；CPU i7 10700、8G 内存、512G 硬盘，HDMI 输出 |
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耦合专用软件 |
模块化设计，一键搜光、自动焦点补偿、离焦补偿算法；工艺流程自定义编辑，数据存储 |
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整机机架结构 |
固有频率：垂直 1.0 2.0Hz、水平 1.0 1.5Hz；台面平面度 0.05mm/m²；2mm 加厚钢板防腐处理，带脚轮与自动调平 |
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