MRFC系列是面向光通信、半导体、生物医疗等前沿领域设计的超高精度运动平台产品线。该系列基于无铁芯直驱电机、高精度交叉滚子导轨与高性能编码器三大核心技术的深度集成，以纳米级定位精度、优异的动态响应与稳态控制为核心标志，为高端工艺装备提供了卓越的定位与运动执行解决方案。
高精度XYZ耦合平台是基于MRFC系列技术平台打造的高端多维运动系统，专为光通信耦合、精密装调等严苛工艺设计。它不仅仅是三轴的简单堆叠，而是一套经过系统性优化与测试的精密机构。
|
性能参数（Performance parameters） |
参数详情 |
|
行程范围（Travel range） |
XYZ 轴：100mm × 100mm × 60mm |
|
最大速度（Maximum speed） |
XYZ 轴：500mm/s |
|
加速度（Acceleration） |
XYZ 轴：1g |
|
速度稳定性（Speed stability） |
XYZ 轴：±0.1mm/s |
|
重复定位精度（Repetitive positioning accuracy） |
XYZ 轴：±100nm |
|
定位精度（Positioning accuracy） |
XYZ 轴：±250nm |
|
静态抖动（Static jitter） |
XYZ 轴：±20nm |
|
微步测试（Micro step testing） |
50nm 和 100nm 两种移动步距，间隔 20ms，采集波形图 |
|
直线度（Straightness） |
XYZ 轴：±1.5μm |
|
平面度（Flatness） |
XYZ 轴：±2μm |
|
负载（Load） |
XY 轴：12kg Z 轴：8kg |
|
组装正交性（Orthogonal assembly） |
XY 组装正交性：< 5 arcsec |
|
YZ 组装正交性：< 5 arcsec |
|
|
驱动供电方式（Drive power supply mode） |
10-80VDC 输入 |
|
滑台本体尺寸（Slider body size） |
长宽高：客户定制 |
Copyright © 武汉厘米自动化设备有限公司 All Rights Reserved. 地址：湖北省武汉市东湖高新区流芳路52号光谷芯中心2期A区
