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超高精度直线电机运动平台M-UMS130-X 系列

超高精度直线电机运动平台
  • 产品介绍

产品参数

参数项

参数值

型号

M-UMS130-60X

M-UMS130-110X

M-UMS130-160X

电机类型

三相无铁芯电机

光栅类型

增量式光栅0.1um(可选最高1nm光栅,绝对式选配)

电机推力

额定40N 峰值90N

加速度(空载)

3G

2.5G

2G

限位类型

机械、光电、软件(三重限位保护)

材质

铝合金6061-T6(可选不锈钢)

行程 mm

60

110

160

定位精度 um

±3um(校准±0.5um)

重复定位精度 um

±0.1um(±50nm 对应5nm以上光栅)

最大速度 mm/s

300mm/s

最大负载 kg

6

8

12


产品外观尺寸及说明

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