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超高精度X轴直线电机运动平台M-LMS250GT-X系列

超高精度X轴直线电机运动平台
  • 产品介绍

产品参数

参数项

参数值

型号

M-LMS250GT-500X

M-LMS250GT-1000X

M-LMS250GT-1500X

M-LMS250GT-2000X

有效行程 [mm]

500

1000

1500

2000

光栅分辨率 [nm]

默认 0.1um (最高1nm可选)

重复定位精度 [um]

±0.3

定位精度 [um]

2um/100mm (校准后可小于0.5um/100mm)

平面度 [um]

±2.5

±5

±7.5

±10

直线度[um]

±2

±5

±7.5

±10

最大速度 [m/s]

2

最大加速度 [G]

4

最大负载 [kg]

300

L [mm]

920

1420

1920

2420


产品外观尺寸及说明

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