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技术指标 |
规格参数 |
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行程 |
X 轴:350mm Y 轴:350mm |
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最大加速度 |
X 轴:400mm/s Y 轴:400mm/s |
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重复定位精度 |
X 轴:±0.3μm Y 轴:±0.3μm θ 轴:±1.5arcsec |
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绝对定位精度 |
X 轴:±0.5μm Y 轴:±0.5μm θ 轴:±10arcsec |
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直线度 |
X 轴:±2μm Y 轴:±2μm |
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运行平面度 |
X 轴:±3μm Y 轴:±3μm |
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最大水平负载 |
10kg |
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光栅尺分辨率 |
0.1μm |