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规格 |
参数 |
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Z轴最大行程 |
±5mm |
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Z轴分辨率 |
4.88nm |
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Z轴重复定位精度 |
±0.2um |
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位置稳定性 |
±20nm |
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最大速度 |
5mm/s |
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最大加速度 |
2m/s |
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θX/θY 最大行程 |
±2.5° |
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θ轴分辨率 |
0.15sec |
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θ轴重复定位精度 |
±1sec |
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最大速度 |
1°/s |
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最大加速度 |
20°/s^2 |
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配重平衡方式 |
气动衡力平衡(最小气压0.1MPa 最大气压0.6MPa) |
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最大负载 |
20kg |